エンジニアリングサポート

株式会社ティエスティでは、KLA-Tencor社(KLA-テンコール社)製の半導体検査装置、
KLA-21xxシリーズ、Surfscan6xxx・SP1シリーズ、KLA5xxxシリーズなど
半導体検査装置のサポートを幅広く行っております。

サポート内容

  • 装置リファビッシュ業務
    リファビッシュとは、中古半導体装置を再生し使用可能な状態に仕上げることをいいます。
    弊社ではメーカー出身エンジニアが専用クリーンルームにて装置を再生し立ち上げまで行います。
  • 装置の移設及び立ち上げ業務
    移設作業前に事前確認(データ取り)を行い、装置のシッピング作業を行った後指定場所への移設を行います。
    そして移設先で立上げ作業を行います。
  • 装置のトラブル対応
    弊社では独自にオンコールサポートを行っております。
    無料電話サポートにてエンジニア派遣が必要な場合弊社エンジニアを現地へ派遣いたします。
  • 中古装置販売業務
    国内外にある中古装置の買取及びリファビッシュされた装置の販売を行います。
  • 定期点検及び消耗品交換
    装置の定期点検、ランプ及びレーザーから各種センサーなどの消耗品の交換調整を行います。
  • 装置Audit業務
    ご依頼の装置についての装置コンディションを確認及び検品いたします。
    お客様が使用している装置及び今後の購入予定装置の検品も受け付けております。

サポート機種

KLA-Tencor社製装置

バターン付きウエハ欠陥検査装置

  • KLA-2131
  • KLA-2132
  • KLA-2135
  • KLA-2135xp
  • KLA-2138
  • KLA-2138xp
  • KLA-2139
  • KLA-255X

バターン無しウエハ表面検査装置

  • Surfscan6200
  • Surfscan6220
  • Surfscan6400
  • Surfscan6420
  • SP-1シリーズ

重ね合わせ装置

  • KLA-5100
  • KLA-5200xp
  • KLA-5300
  • Archer10