事業紹介

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株式会社 ティエスティ
861-2202
熊本県上益城郡益城町田原
2081-17
テクノリサーチパーク内
電話番号 096-288-9517
 
 
 
 


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エンジニアリングサポート


株式会社ティエスティでは、KLA-Tencor社(KLA-テンコール社)製の半導体検査装置、KLA-21xxシリーズ、Surfscan6xxx・SP1シリーズ、KLA5xxxシリーズなど半導体検査装置のサポートを幅広く行っております。

サポート内容

半導体装置リファビッシュイメージ半導体装置検査イメージ半導体装置計測イメージ
装置リファビッシュ業務
  リファビッシュとは、中古機器などを整備再生し使用可能な状態に仕上げることをいいます。弊社メーカー出身エンジニアがクリーンルームにて装置を再生し立ち上げまで行います。

中古装置販売業務
  国内外にある中古装置の販売を行います。

装置の移設及び立ち上げ業務
  ご用命により装置の事前確認(データ取り)、シッピング作業を行い指定場所への移設とともに立上げ作業を行います。

装置のトラブル対応
  装置は使用していくと必ずトラブルが発生します。弊社では独自にオンコールサポートを行っております。無料電話サポートにてエンジニア派遣が必要な場合弊社エンジニアを現地へ派遣いたします。

定期点検及び消耗品交換
  装置の定期点検、ランプ及びレーザーの交換を行います。

装置Audit業務
  現在の装置状態を検品いたします。自社装置及び購入予定装置などの検品も受け付けております。

サポート対応機種

KLA-Tencor社製装置イメージKLA-Tencor社製装置イメージ
KLA-Tencor社製装置
パターン付きウエハ欠陥検査装置
  KLA-2131・KLA-2132・KLA-2135xp・KLA-2138xp
KLA-2139・KLA-255X
  パターン無しウエハ表面検査装置
  Surfscan6200・Surfscan6220・Surfscan6400
Surfscan6420/SP-1シリーズ
  重ね合わせ装置
  KLA-5100・KLA-5200xp・KLA-5300・Archer10
各種サポート
各装置定期点検作業  トラブルシュート 
各装置ランプ交換作業 定期レーザー交換作業(SFS 6200~6420,SP1-TBI)
電源修理(装置によっては対応出来ない場合もございますのでお問い合わせ下さい)
各装置治具作成 等